共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
扩展方法以及扩展装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010704482.4
申请日：
2020-07-21
公开(公告)号：
CN112289704B
公开(公告)日：
2025-08-05
发明(设计)人：
赵金艳
政田孝行
申请人：
株式会社迪思科
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于靖帅;黄纶伟
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-05 | 授权 | 授权 |