共 50 条
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扩展装置、扩展方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010273122.3
申请日：
2020-04-09
公开(公告)号：
CN111834274A
公开(公告)日：
2020-10-27
发明(设计)人：
松田智人
川口吉洋
齐藤亮太
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
乔婉;于靖帅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-27 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20200409 |