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扩展装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010079512.7
申请日：
2020-02-04
公开(公告)号：
CN111540693B
公开(公告)日：
2025-07-29
发明(设计)人：
松田智人
川口吉洋
申请人：
株式会社迪思科
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于靖帅;黄纶伟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-29 | 授权 | 授权 |