一种蓝宝石衬底CMP的表面粗糙度预测方法、系统、设备及介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510649205.0

申请日：

2025-05-20

公开(公告)号：

CN120347669A

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

黄义朱安江高升王琦张红升

申请人：

重庆邮电大学

申请人地址：

400065 重庆市南岸区南山街道崇文路2号

IPC主分类号：

B24B49/00

IPC分类号：

B24B37/04

代理机构：

成都行之专利代理有限公司 51220

代理人：

张杨

法律状态：

公开

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	公开	公开
2025-08-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 49/00申请日:20250520

共 50 条

[1]

蓝宝石衬底材料表面粗糙度的控制方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 ;

檀柏梅 ;

刘钠 .

中国专利 :CN1857865A ,2006-11-08

[2]

一种工件表面粗糙度预测方法 [P].

林启者 ;

林家耀 .

中国专利 :CN115422978A ,2022-12-02

[3]

基于深度学习的加工表面粗糙度预测方法及系统 [P].

邓柯楠 ;

王智琦 ;

赵成钰 ;

路勇 ;

高栋 ;

杨立军 .

中国专利 :CN120493207A ,2025-08-15

[4]

一种加工表面粗糙度预测方法 [P].

罗明 ;

张晓伟 .

中国专利 :CN120763734A ,2025-10-10

[5]

激光冲击表面粗糙度的预测方法 [P].

张永康 ;

张驰 ;

李毓洲 ;

吴清源 ;

李佳敏 .

中国专利 :CN109885918A ,2019-06-14

[6]

数控加工表面粗糙度预测方法及装置 [P].

王冬 ;

王立平 ;

李学崑 ;

蔡恩磊 .

中国专利 :CN114897028A ,2022-08-12

[7]

零件抛光表面粗糙度预测方法、装置、设备及存储介质 [P].

刘其广 ;

孙玉文 ;

金鑫 ;

王若奇 ;

孙晓楠 .

中国专利 :CN120873717A ,2025-10-31

[8]

一种机械加工表面粗糙度预测方法 [P].

裴宏杰 ;

李公安 ;

陈少峰 ;

陈钰荧 ;

王贵成 .

中国专利 :CN108920812A ,2018-11-30

[9]

铣削加工工件表面粗糙度的预测方法 [P].

段春争 ;

郝清龙 ;

周峰 ;

徐振 ;

张方圆 .

中国专利 :CN103761429A ,2014-04-30

[10]

一种大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法 [P].

归欢焕 ;

段金柱 ;

潘振华 ;

王勤峰 ;

姚志炎 ;

樊志远 ;

庄林海 .

中国专利 :CN103909475A ,2014-07-09

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