蓝宝石衬底材料表面粗糙度的控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610013982.3

申请日：

2006-05-31

公开(公告)号：

CN1857865A

公开(公告)日：

2006-11-08

发明(设计)人：

刘玉岭牛新环檀柏梅刘钠

申请人：

申请人地址：

300384天津市高技术产业园区华苑科馨公寓10号楼505

IPC主分类号：

B24B916

IPC分类号：

C09G102

代理机构：

天津市三利专利商标代理有限公司

代理人：

闫俊芬

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-11-04	授权	授权
2007-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-08-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101095708609 IPC(主分类):B24B 9/16 专利号:ZL2006100139823 申请日:20060531 授权公告日:20091104 终止日期:20100531
2006-11-08	公开	公开

共 50 条

[1]

硅单晶衬底材料表面粗糙度的控制方法 [P].

刘玉岭 ;

檀柏梅 .

中国专利 :CN1864926A ,2006-11-22

[2]

陀螺光学元件石英衬底材料CMP抛光表面粗糙度的控制方法 [P].

牛新环 ;

何彦刚 ;

王辰伟 ;

潘国峰 ;

刘玉岭 .

中国专利 :CN104526539A ,2015-04-22

[3]

蓝宝石衬底材料高去除速率的控制方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 .

中国专利 :CN1857864A ,2006-11-08

[4]

一种蓝宝石衬底CMP的表面粗糙度预测方法、系统、设备及介质 [P].

黄义 ;

朱安江 ;

高升 ;

王琦 ;

张红升 .

中国专利 :CN120347669A ,2025-07-22

[5]

蓝宝石衬底材料的退火工艺 [P].

张卫兴 .

中国专利 :CN103177972A ,2013-06-26

[6]

蓝宝石衬底材料CMP抛光液的制备方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 ;

刘金玉 .

中国专利 :CN102010669A ,2011-04-13

[7]

蓝宝石衬底材料抛光液及其制备方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 .

中国专利 :CN1858137A ,2006-11-08

[8]

减少材料表面粗糙度的方法 [P].

杨奕 ;

K·尼塔拉 ;

K·嘉纳基拉曼 ;

A·爱丁 ;

D·凯德拉亚 .

美国专利 :CN115280467B ,2025-09-12

[9]

一种大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法 [P].

归欢焕 ;

段金柱 ;

潘振华 ;

王勤峰 ;

姚志炎 ;

樊志远 ;

庄林海 .

中国专利 :CN103909475A ,2014-07-09

[10]

蓝宝石衬底材料精密抛光夹持陶瓷盘 [P].

蔡武吉 ;

赵国梁 ;

邱冠华 .

中国专利 :CN203418417U ,2014-02-05

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