减少材料表面粗糙度的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080092564.6

申请日：

2020-11-02

公开(公告)号：

CN115280467B

公开(公告)日：

2025-09-12

发明(设计)人：

杨奕 K·尼塔拉 K·嘉纳基拉曼 A·爱丁 D·凯德拉亚

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

C23C16/38 C23C16/505 C23C16/52

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

付尉琳;侯颖媖

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-12	授权	授权

共 50 条

[1]

降低表面粗糙度的方法 [P].

E·布雷 ;

L·埃尔卡诺 .

中国专利 :CN1524289A ,2004-08-25

[2]

表面粗糙度分析系统和分析工件的表面粗糙度的方法 [P].

S·M·贾汉宾 ;

J-B·伊努 ;

G·E·乔治森 ;

N·A·德赛 .

中国专利 :CN113340242A ,2021-09-03

[3]

表面粗糙度分析系统和分析工件的表面粗糙度的方法 [P].

S·M·贾汉宾 ;

J-B·伊努 ;

G·E·乔治森 ;

N·A·德赛 .

美国专利 :CN113340242B ,2025-10-10

[4]

表面粗糙度的测量 [P].

J·帕尔马尔 ;

C·伦纳茨 ;

S·纳普 ;

P·费耶斯 .

德国专利 :CN121219550A ,2025-12-26

[5]

表面粗糙度应用 [P].

S·冈萨雷斯马丁 ;

M·博拉斯卡马拉萨 ;

J·阿尔马塞拉斯维萨 .

中国专利 :CN115103756A ,2022-09-23

[6]

表面粗糙度仪器 [P].

夏建平 .

中国专利 :CN309267834S ,2025-05-02

[7]

表面粗糙度测量 [P].

瓦达克·马萨姆·穆鲁克山 ;

帕坦哈雷坎迪·普拉巴坦 ;

安思文·哈瑞达斯 ;

普尔基特·卡普尔 ;

比拉尔·M·纳塞尔 ;

凯尔文·H·K·陈 .

中国专利 :CN111412868A ,2020-07-14

[8]

表面粗糙度评价方法、表面粗糙度评价装置以及玻璃基板 [P].

高桥祐之 ;

大野和宏 ;

中塚弘树 ;

奥隼人 .

中国专利 :CN107532877A ,2018-01-02

[9]

改善钢管表面粗糙度的方法 [P].

曹献龙 ;

王焕新 ;

王世杰 .

中国专利 :CN111500963A ,2020-08-07

[10]

用于降低表面粗糙度的方法 [P].

徐悟生 ;

周宏 ;

钟大龙 ;

L·C·迪亚尔 ;

L·B·库尔 .

中国专利 :CN109868447B ,2019-06-11

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