蓝宝石衬底材料的退火工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110432004.3

申请日：

2011-12-21

公开(公告)号：

CN103177972A

公开(公告)日：

2013-06-26

发明(设计)人：

张卫兴

申请人：

申请人地址：

210003 江苏省南京市南瑞路紫竹苑1-2号

IPC主分类号：

H01L21477

IPC分类号：

H01L3300

代理机构：

南京众联专利代理有限公司 32206

代理人：

顾进

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/477 申请日:20111221 授权公告日:20160113 终止日期:20211221
2018-03-16	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/477 登记生效日:20180227 变更事项:专利权人变更前权利人:张卫兴变更后权利人:江苏可润光电科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:210003 江苏省南京市南瑞路紫竹苑1-2号变更后权利人:210046 江苏省南京市栖霞区尧化街道甘家边东108号
2013-06-26	公开	公开
2016-01-13	授权	授权
2013-08-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101503722631 IPC(主分类):H01L 21/477 专利申请号:2011104320043 申请日:20111221

共 50 条

[1]

蓝宝石衬底退火炉 [P].

储耀卿 ;

石剑舫 ;

王善建 ;

石晓鑫 ;

朱文超 .

中国专利 :CN202595343U ,2012-12-12

[2]

蓝宝石衬底材料高去除速率的控制方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 .

中国专利 :CN1857864A ,2006-11-08

[3]

蓝宝石衬底材料精密抛光夹持陶瓷盘 [P].

蔡武吉 ;

赵国梁 ;

邱冠华 .

中国专利 :CN203418417U ,2014-02-05

[4]

蓝宝石衬底材料CMP抛光液的制备方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 ;

刘金玉 .

中国专利 :CN102010669A ,2011-04-13

[5]

蓝宝石衬底材料表面粗糙度的控制方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 ;

檀柏梅 ;

刘钠 .

中国专利 :CN1857865A ,2006-11-08

[6]

蓝宝石衬底材料抛光液及其制备方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 .

中国专利 :CN1858137A ,2006-11-08

[7]

蓝宝石衬底 [P].

石剑舫 .

中国专利 :CN202651186U ,2013-01-02

[8]

蓝宝石衬底 [P].

丁泽 ;

何亚东 ;

房观耀 .

中国专利 :CN205595363U ,2016-09-21

[9]

蓝宝石衬底转移石墨烯的退火方法 [P].

宁静 ;

王东 ;

韩砀 ;

闫景东 ;

柴正 ;

张进成 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102931078A ,2013-02-13

[10]

废弃蓝宝石衬底的再生方法及蓝宝石衬底 [P].

李刚 ;

靳彩霞 ;

张文燕 ;

胡清富 ;

潘树林 ;

武杰 .

中国专利 :CN113782648A ,2021-12-10

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