蓝宝石衬底材料高去除速率的控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610013968.3

申请日：

2006-05-31

公开(公告)号：

CN1857864A

公开(公告)日：

2006-11-08

发明(设计)人：

刘玉岭牛新环

申请人：

申请人地址：

300384天津市高技术产业园区华苑科馨公寓10号楼505

IPC主分类号：

B24B916

IPC分类号：

C09G102

代理机构：

天津市三利专利商标代理有限公司

代理人：

闫俊芬

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101094908354 IPC(主分类):B24B 9/16 专利号:ZL2006100139683 申请日:20060531 授权公告日:20090819 终止日期:20100531
2009-08-19	授权	授权
2006-11-08	公开	公开
2007-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

蓝宝石衬底材料表面粗糙度的控制方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 ;

檀柏梅 ;

刘钠 .

中国专利 :CN1857865A ,2006-11-08

[2]

蓝宝石衬底材料的退火工艺 [P].

张卫兴 .

中国专利 :CN103177972A ,2013-06-26

[3]

蓝宝石衬底材料CMP抛光液的制备方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 ;

刘金玉 .

中国专利 :CN102010669A ,2011-04-13

[4]

蓝宝石衬底材料抛光液及其制备方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 .

中国专利 :CN1858137A ,2006-11-08

[5]

蓝宝石衬底材料精密抛光夹持陶瓷盘 [P].

蔡武吉 ;

赵国梁 ;

邱冠华 .

中国专利 :CN203418417U ,2014-02-05

[6]

蓝宝石衬底材料的复合磨料抛光液及其循环使用方法 [P].

牛新环 ;

王娟 ;

高宝红 ;

王如 ;

檀柏梅 ;

刘玉岭 .

中国专利 :CN104403574A ,2015-03-11

[7]

蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液及其循环使用方法 [P].

牛新环 ;

高宝红 ;

孙鸣 ;

王如 ;

王娟 ;

刘玉岭 .

中国专利 :CN104449403A ,2015-03-25

[8]

废弃蓝宝石衬底的再生方法及蓝宝石衬底 [P].

李刚 ;

靳彩霞 ;

张文燕 ;

胡清富 ;

潘树林 ;

武杰 .

中国专利 :CN113782648A ,2021-12-10

[9]

便于去除蓝宝石衬底的外延结构 [P].

成诗恕 .

中国专利 :CN102299169A ,2011-12-28

[10]

去除GaN基LED芯片蓝宝石衬底的方法 [P].

江忠永 ;

田洪涛 ;

张向飞 ;

徐瑾 .

中国专利 :CN101872814A ,2010-10-27

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