一种高激光损伤阈值熔石英元件的后处理方法

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专利类型
发明
申请号
CN202211541567.0
申请日
2022-12-02
公开(公告)号
CN116177891B
公开(公告)日
2025-07-25
发明(设计)人
黎波 向霞 邓洪祥 冯青屹 祖小涛
申请人
电子科技大学长三角研究院(湖州)
申请人地址
313000 浙江省湖州市西塞山路819号南太湖科技创新综合体B2幢8层
IPC主分类号
C03C15/00
IPC分类号
C03C23/00 C03B25/00 C03B20/00
代理机构
北京金智普华知识产权代理有限公司 11401
代理人
郭美
法律状态
授权
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
提升熔石英元件损伤阈值的后处理方法 [P]. 
蔡超 ;
尹良君 ;
刘蕴霞 ;
戴红玲 ;
何祥 ;
黄金勇 ;
王刚 ;
胡庆 ;
赵恒 ;
杨佳 ;
陈思洁 ;
李瑞洁 ;
鄢定尧 ;
马平 .
中国专利 :CN113248121A ,2021-08-13
[2]
一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法 [P]. 
魏朝阳 ;
韩宜池 ;
万嵩林 ;
彭小聪 ;
邵建达 .
中国专利 :CN117046851B ,2025-08-12
[3]
一种提升熔石英元件激光损伤阈值的表面处理工艺 [P]. 
何洪途 ;
孙来喜 ;
郑天然 ;
余家欣 ;
刘新祺 ;
邹蕊矫 ;
王方 ;
李青山 .
中国专利 :CN116462419B ,2025-05-13
[4]
提升熔石英光学元件损伤阈值的后处理方法 [P]. 
叶鑫 ;
蒋晓东 ;
黄进 ;
刘红婕 ;
孙来喜 ;
李青芝 ;
王凤蕊 ;
周晓燕 ;
耿锋 .
中国专利 :CN105481259A ,2016-04-13
[5]
一种提升抗激光损伤能力的熔石英元件表面联合处理方法 [P]. 
孙来喜 ;
何洪途 ;
邹蕊矫 ;
刘新祺 ;
余家欣 ;
郑天然 ;
王方 ;
李青山 .
中国专利 :CN116462418B ,2025-05-16
[6]
一种提升石英元件激光损伤阈值的方法 [P]. 
向霞 ;
罗韦媛 ;
黎波 ;
祖小涛 .
中国专利 :CN113087413A ,2021-07-09
[7]
一种湿法-干法刻蚀结合提升熔石英元件阈值的表面处理方法 [P]. 
祖小涛 ;
向霞 ;
晏中华 .
中国专利 :CN103922601A ,2014-07-16
[8]
提升熔石英元件损伤阈值的加工方法 [P]. 
陈军 ;
程鑫 ;
吴伦哲 ;
徐学科 ;
魏朝阳 ;
邵建达 .
中国专利 :CN114149180A ,2022-03-08
[9]
一种提升熔石英光学元件损伤阈值的方法 [P]. 
叶鑫 ;
蒋晓东 ;
黄进 ;
刘红婕 ;
孙来喜 ;
周信达 ;
王凤蕊 ;
周晓燕 ;
耿锋 .
中国专利 :CN103449731A ,2013-12-18
[10]
一种具有光滑表面和高损伤阈值熔石英元件的加工方法 [P]. 
陈军 ;
程鑫 ;
王林 ;
顿爱欢 ;
徐学科 ;
邵建达 .
中国专利 :CN116750980B ,2025-06-13