一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310957263.0

申请日：

2023-08-01

公开(公告)号：

CN117046851B

公开(公告)日：

2025-08-12

发明(设计)人：

魏朝阳韩宜池万嵩林彭小聪邵建达

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

201800 上海市嘉定区清河路390号

IPC主分类号：

B08B11/00

IPC分类号：

B08B7/00 B08B3/02 B08B3/12

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-12	授权	授权

共 50 条

[1]

提升熔石英元件损伤阈值的加工方法 [P].

陈军 ;

程鑫 ;

吴伦哲 ;

徐学科 ;

魏朝阳 ;

邵建达 .

中国专利 :CN114149180A ,2022-03-08

[2]

一种高激光损伤阈值熔石英元件的后处理方法 [P].

黎波 ;

向霞 ;

邓洪祥 ;

冯青屹 ;

祖小涛 .

中国专利 :CN116177891B ,2025-07-25

[3]

一种提升熔石英光学元件损伤阈值的方法 [P].

叶鑫 ;

蒋晓东 ;

黄进 ;

刘红婕 ;

孙来喜 ;

周信达 ;

王凤蕊 ;

周晓燕 ;

耿锋 .

中国专利 :CN103449731A ,2013-12-18

[4]

提升熔石英元件损伤阈值的后处理方法 [P].

蔡超 ;

尹良君 ;

刘蕴霞 ;

戴红玲 ;

何祥 ;

黄金勇 ;

王刚 ;

胡庆 ;

赵恒 ;

杨佳 ;

陈思洁 ;

李瑞洁 ;

鄢定尧 ;

马平 .

中国专利 :CN113248121A ,2021-08-13

[5]

一种提升石英元件激光损伤阈值的方法 [P].

向霞 ;

罗韦媛 ;

黎波 ;

祖小涛 .

中国专利 :CN113087413A ,2021-07-09

[6]

一种提升熔石英元件激光损伤阈值的表面处理工艺 [P].

何洪途 ;

孙来喜 ;

郑天然 ;

余家欣 ;

刘新祺 ;

邹蕊矫 ;

王方 ;

李青山 .

中国专利 :CN116462419B ,2025-05-13

[7]

一种提升抗激光损伤能力的熔石英元件表面联合处理方法 [P].

孙来喜 ;

何洪途 ;

邹蕊矫 ;

刘新祺 ;

余家欣 ;

郑天然 ;

王方 ;

李青山 .

中国专利 :CN116462418B ,2025-05-16

[8]

一种湿法-干法刻蚀结合提升熔石英元件阈值的表面处理方法 [P].

祖小涛 ;

向霞 ;

晏中华 .

中国专利 :CN103922601A ,2014-07-16

[9]

一种基于惰性离子注入法提升熔石英损伤阈值的方法 [P].

祖小涛 ;

黎波 ;

向霞 ;

田成祥 .

中国专利 :CN108238725A ,2018-07-03

[10]

提升熔石英光学元件损伤阈值的后处理方法 [P].

叶鑫 ;

蒋晓东 ;

黄进 ;

刘红婕 ;

孙来喜 ;

李青芝 ;

王凤蕊 ;

周晓燕 ;

耿锋 .

中国专利 :CN105481259A ,2016-04-13

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