基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510655963.3

申请日：

2025-05-21

公开(公告)号：

CN120182269B

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

李红旭任杰吴腾苑欣晁张永宏冯小明王兴辉迟荣华李世雨

申请人：

无锡学院无锡亮源激光技术有限公司

申请人地址：

214105 江苏省无锡市锡山区锡山大道333号

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G06V10/44 G06V10/764 G06V10/80 G06V10/82 G06N3/045 G06N3/0455 G06N3/0464 G06N3/048 G06N3/082

代理机构：

江苏圣典律师事务所 32237

代理人：

吴庭祥;张月

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	公开	公开
2025-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250521
2025-08-01	授权	授权

共 50 条

[1]

基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法 [P].

李红旭 ;

任杰 ;

吴腾 ;

苑欣晁 ;

张永宏 ;

冯小明 ;

王兴辉 ;

迟荣华 ;

李世雨 .

中国专利 :CN120182269A ,2025-06-20

[2]

基于深度注意力网络的晶圆表面缺陷模式检测方法 [P].

于乃功 ;

李欣 .

中国专利 :CN113362320B ,2024-05-28

[3]

基于深度注意力网络的晶圆表面缺陷模式检测方法 [P].

于乃功 ;

李欣 .

中国专利 :CN113362320A ,2021-09-07

[4]

一种基于特征互补注意力检测结构的晶圆缺陷检测方法 [P].

杜文斌 ;

何春来 ;

祝鲁宁 ;

王兆广 ;

王卫军 .

中国专利 :CN117726605A ,2024-03-19

[5]

基于PeleeNet与CNN的晶圆缺陷检测方法 [P].

李红旭 ;

任杰 ;

张永宏 ;

迟荣华 ;

常建华 ;

李晨 .

中国专利 :CN119130925A ,2024-12-13

[6]

基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法 [P].

孙进 ;

梁立 ;

刘芳军 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN114820580B ,2024-11-15

[7]

基于多注意力机制的ResNeSt50晶圆图缺陷模式识别方法 [P].

陈寿宏 ;

朱子任 ;

覃冠翔 ;

陆颖 .

中国专利 :CN118154577A ,2024-06-07

[8]

基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法 [P].

孙进 ;

梁立 ;

刘芳军 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN114820580A ,2022-07-29

[9]

基于注意力金字塔变化检测晶圆缺陷的方法和系统 [P].

崔通 ;

廖翔宇 .

中国专利 :CN119963555B ,2025-06-20

[10]

基于注意力金字塔变化检测晶圆缺陷的方法和系统 [P].

崔通 ;

廖翔宇 .

中国专利 :CN119963555A ,2025-05-09

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