基于深度注意力网络的晶圆表面缺陷模式检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110771085.3

申请日：

2021-07-07

公开(公告)号：

CN113362320A

公开(公告)日：

2021-09-07

发明(设计)人：

于乃功李欣

申请人：

申请人地址：

100124 北京市朝阳区平乐园100号

IPC主分类号：

G06T700

IPC分类号：

G06T500 G06K962 G06N304 G06N308

代理机构：

北京思海天达知识产权代理有限公司 11203

代理人：

刘萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G06T 7/00 申请日:20210707
2021-09-07	公开	公开

共 50 条

[1]

基于深度注意力网络的晶圆表面缺陷模式检测方法 [P].

于乃功 ;

李欣 .

中国专利 :CN113362320B ,2024-05-28

[2]

基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法 [P].

孙进 ;

梁立 ;

刘芳军 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN114820580B ,2024-11-15

[3]

基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法 [P].

孙进 ;

梁立 ;

刘芳军 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN114820580A ,2022-07-29

[4]

视觉注意力网络及工件表面缺陷检测方法 [P].

徐一丁 ;

张霞 ;

曾泽沧 ;

张丽果 ;

王一鸣 ;

郑慧娟 .

中国专利 :CN109035233A ,2018-12-18

[5]

基于多尺度注意力的混凝土表面缺陷特征检测方法 [P].

王哲源 ;

易魁 ;

陈有勤 ;

毛莺池 ;

万旭 ;

曹学兴 ;

聂兵兵 ;

谭彬 ;

刘海波 ;

彭欣欣 ;

王海燕 .

中国专利 :CN115147375A ,2022-10-04

[6]

一种基于多注意力机制的工件表面缺陷检测方法 [P].

王卫 ;

于波 ;

刘佳龙 ;

王宁 ;

金继鑫 ;

高岑 ;

隋东 .

中国专利 :CN118967644A ,2024-11-15

[7]

基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法 [P].

李红旭 ;

任杰 ;

吴腾 ;

苑欣晁 ;

张永宏 ;

冯小明 ;

王兴辉 ;

迟荣华 ;

李世雨 .

中国专利 :CN120182269A ,2025-06-20

[8]

基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法 [P].

李红旭 ;

任杰 ;

吴腾 ;

苑欣晁 ;

张永宏 ;

冯小明 ;

王兴辉 ;

迟荣华 ;

李世雨 .

中国专利 :CN120182269B ,2025-08-01

[9]

基于交互注意力与卷积神经网络的瓷砖表面缺陷检测方法 [P].

韩琦 ;

侯明阳 ;

翁腾飞 ;

陈国荣 ;

杨恒 ;

武宸 ;

王洪艺 ;

田升 ;

解燕 ;

张澳 ;

张崟溧 .

中国专利 :CN113658176A ,2021-11-16

[10]

一种基于深度卷积神经网络的硅晶圆表面缺陷检测方法 [P].

唐昆 ;

彭琳和 ;

潘淼 ;

蔡文浩 ;

李佳旺 ;

唐伟东 ;

罗源嫱 ;

程波 ;

张航 .

中国专利 :CN115409824A ,2022-11-29

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