一种晶圆托取机械手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422419897.3

申请日：

2024-10-08

公开(公告)号：

CN223115230U

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

赵瑞昆高小良

申请人：

徐州良萌半导体科技有限公司

申请人地址：

221700 江苏省徐州市丰县经济开发区智能设备终端产业园10号标准厂房1楼

IPC主分类号：

B25J15/00

IPC分类号：

B25J15/02

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

邹仕娟

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省徐州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆支撑部件及晶圆托取机械手 [P].

郝瀚 .

中国专利 :CN220895487U ,2024-05-03

[2]

一种取放晶圆机械手 [P].

丁波 ;

张伟 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

谷卫东 ;

杭海燕 ;

侯金松 ;

黄振亚 ;

康夏雷 ;

魏方超 ;

赵栋栋 ;

智朋 .

中国专利 :CN223092842U ,2025-07-11

[3]

晶圆自动取放机械手 [P].

周振根 .

中国专利 :CN203218245U ,2013-09-25

[4]

一种晶圆搬运机械手 [P].

尹诚诚 ;

周卫国 ;

刘冬梅 ;

王强 ;

董纯洁 .

中国专利 :CN209804624U ,2019-12-17

[5]

一种晶圆传输机械手 [P].

李旻璋 ;

李浩 .

中国专利 :CN222939908U ,2025-06-03

[6]

一种晶圆盒夹取机械手 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222079271U ,2024-11-29

[7]

一种取托机械手 [P].

李文磊 ;

毛建林 ;

杨益服 ;

国方挺 ;

陈治贵 .

中国专利 :CN217943378U ,2022-12-02

[8]

一种晶圆机械手 [P].

蔡跃祥 ;

李辉 ;

高炳程 ;

刘东辉 ;

李振果 ;

张堂令 ;

谢洪喜 ;

王永忠 .

中国专利 :CN217822727U ,2022-11-15

[9]

全自动晶圆机械手 [P].

高波 .

中国专利 :CN222697218U ,2025-04-01

[10]

一种晶圆取放机械手 [P].

张庆钊 ;

陈百捷 ;

姚广军 ;

王镇清 .

中国专利 :CN110091340B ,2019-08-06

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