一种取放晶圆机械手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422234652.3

申请日：

2024-09-12

公开(公告)号：

CN223092842U

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

丁波张伟李轶陈瀚谷卫东杭海燕侯金松黄振亚康夏雷魏方超赵栋栋智朋

申请人：

上海微世半导体有限公司

申请人地址：

201401 上海市奉贤区南桥镇沿江路752号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

代理机构：

上海远同律师事务所 31307

代理人：

张坚

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-11	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆自动取放机械手 [P].

周振根 .

中国专利 :CN203218245U ,2013-09-25

[2]

晶圆自动取放机械手 [P].

周振根 .

中国专利 :CN104037114B ,2014-09-10

[3]

一种晶圆取放机械手 [P].

张庆钊 ;

陈百捷 ;

姚广军 ;

王镇清 .

中国专利 :CN110091340B ,2019-08-06

[4]

一种用于晶圆取放的机械手装置 [P].

周静 ;

郭钰 ;

沈鹏远 ;

杨建 ;

彭同华 ;

曾江 ;

彭勇 .

中国专利 :CN221427706U ,2024-07-26

[5]

用于取放晶圆的机械手及晶圆搬运系统 [P].

李向峰 ;

张永盛 .

中国专利 :CN223052128U ,2025-07-01

[6]

一种晶圆托取机械手 [P].

赵瑞昆 ;

高小良 .

中国专利 :CN223115230U ,2025-07-18

[7]

取放机械手 [P].

吴雪亮 ;

徐明 .

中国专利 :CN214981044U ,2021-12-03

[8]

一种自动取放机械手 [P].

郑健 ;

韩启斌 ;

李海霞 ;

周海燕 ;

张艳 .

中国专利 :CN205380676U ,2016-07-13

[9]

一种晶圆盒夹取机械手 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222079271U ,2024-11-29

[10]

一种晶圆取放装置和搬运机械手 [P].

祝佳辉 ;

周磊 ;

王旭晨 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

鲍伟成 ;

张庆 ;

王文广 .

中国专利 :CN115513108A ,2022-12-23

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