晶圆自动取放机械手

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310070328.6

申请日：

2013-03-06

公开(公告)号：

CN104037114B

公开(公告)日：

2014-09-10

发明(设计)人：

周振根

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇都市路88号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21683 B25J908 B25J1506

代理机构：

昆山四方专利事务所 32212

代理人：

盛建德

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-18	授权	授权
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631741980 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:2013100703286 申请日:20130306
2014-09-10	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆自动取放机械手 [P].

周振根 .

中国专利 :CN203218245U ,2013-09-25

[2]

一种晶圆取放机械手 [P].

张庆钊 ;

陈百捷 ;

姚广军 ;

王镇清 .

中国专利 :CN110091340B ,2019-08-06

[3]

一种取放晶圆机械手 [P].

丁波 ;

张伟 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

谷卫东 ;

杭海燕 ;

侯金松 ;

黄振亚 ;

康夏雷 ;

魏方超 ;

赵栋栋 ;

智朋 .

中国专利 :CN223092842U ,2025-07-11

[4]

晶圆搬运机械手 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 ;

胡灿辉 .

中国专利 :CN218255164U ,2023-01-10

[5]

取放机械手 [P].

王绍勇 ;

孙振聪 ;

郭昂 .

中国专利 :CN118617385A ,2024-09-10

[6]

取放机械手 [P].

吴雪亮 ;

徐明 .

中国专利 :CN214981044U ,2021-12-03

[7]

用于取放晶圆的机械手及晶圆搬运系统 [P].

李向峰 ;

张永盛 .

中国专利 :CN223052128U ,2025-07-01

[8]

盒体取放机械手 [P].

崔云海 ;

侯雷 ;

姜吉文 ;

郝文瀚 .

中国专利 :CN205906697U ,2017-01-25

[9]

盒体取放机械手 [P].

姜吉文 ;

崔云海 ;

侯雷 ;

王小奇 ;

郭一辰 ;

郝文瀚 .

中国专利 :CN105858192B ,2016-08-17

[10]

盒体取放机械手 [P].

崔云海 ;

姜吉文 ;

郝文瀚 .

中国专利 :CN206263955U ,2017-06-20

← 1 2 3 4 5 →