用于取放晶圆的机械手及晶圆搬运系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421697737.9

申请日：

2024-07-17

公开(公告)号：

CN223052128U

公开(公告)日：

2025-07-01

发明(设计)人：

李向峰张永盛

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆自动取放机械手 [P].

周振根 .

中国专利 :CN203218245U ,2013-09-25

[2]

晶圆搬运机械手 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 ;

胡灿辉 .

中国专利 :CN218255164U ,2023-01-10

[3]

晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271064U ,2015-04-15

[4]

晶圆自动取放机械手 [P].

周振根 .

中国专利 :CN104037114B ,2014-09-10

[5]

晶圆搬运机械手 [P].

武辉军 ;

王启林 ;

何豪文 ;

林猷强 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN117410226A ,2024-01-16

[6]

晶圆搬运机械手 [P].

武辉军 ;

王启林 ;

何豪文 ;

林猷强 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN117410226B ,2024-08-06

[7]

新型晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271057U ,2015-04-15

[8]

一种晶圆搬运机械手及晶圆制造系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222995388U ,2025-06-17

[9]

一种取放晶圆机械手 [P].

丁波 ;

张伟 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

谷卫东 ;

杭海燕 ;

侯金松 ;

黄振亚 ;

康夏雷 ;

魏方超 ;

赵栋栋 ;

智朋 .

中国专利 :CN223092842U ,2025-07-11

[10]

用于抓取晶圆的机械手、晶圆载体盒及晶圆处理系统 [P].

高帅 ;

李大川 .

中国专利 :CN223612369U ,2025-11-28

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