一种制备氮化铝单晶的装置和长时稳定生长氮化铝单晶的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510447880.5
申请日
2025-04-10
公开(公告)号
CN120401014A
公开(公告)日
2025-08-01
发明(设计)人
王增华 程红娟 王英民 张弛 张丽 高飞 张颖
申请人
中国电子科技集团公司第四十六研究所
申请人地址
300220 天津市河西区洞庭路26号
IPC主分类号
C30B29/40
IPC分类号
C30B23/00
代理机构
石家庄国为知识产权事务所 13120
代理人
柳萌
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
氮化铝单晶的制备方法和制备氮化铝单晶的装置 [P]. 
武红磊 ;
钟旭辉 ;
覃佐燕 .
中国专利 :CN109371467A ,2019-02-22
[2]
氮化铝单晶的制造装置、氮化铝单晶的制造方法及氮化铝单晶 [P]. 
加藤智久 ;
长井一郎 ;
三浦知则 ;
鎌田弘之 .
中国专利 :CN102405310B ,2012-04-04
[3]
氮化铝单晶衬底的制备方法 [P]. 
王增华 ;
程红娟 ;
王英民 ;
张弛 ;
张丽 ;
高飞 ;
张颖 .
中国专利 :CN120119323A ,2025-06-10
[4]
氮化铝单晶的制备装置 [P]. 
庄德津 ;
刘良宏 .
中国专利 :CN202359230U ,2012-08-01
[5]
一种氮化铝单晶生长方法 [P]. 
吴亮 ;
曹凯 ;
汪佳 ;
刘理想 ;
龚加玮 ;
王智昊 ;
王琦琨 .
中国专利 :CN106637411A ,2017-05-10
[6]
一种氮化铝单晶生长方法 [P]. 
吴亮 ;
王智昊 ;
王琦琨 ;
贺广东 ;
雷丹 .
中国专利 :CN107541783A ,2018-01-05
[7]
氮化铝单晶制造方法 [P]. 
福山博之 ;
东正信 ;
高田和哉 ;
服部刚 .
中国专利 :CN102639764A ,2012-08-15
[8]
一种生长氮化铝单晶用可控粒径氮化铝原料的制备方法 [P]. 
王国栋 ;
俞瑞仙 ;
张雷 ;
王守志 ;
刘光霞 ;
陈成敏 .
中国专利 :CN115012027A ,2022-09-06
[9]
氮化铝单晶材料制备方法 [P]. 
杨少延 ;
魏鸿源 ;
焦春美 ;
刘祥林 .
中国专利 :CN102828251A ,2012-12-19
[10]
一种制备氮化铝单晶的方法 [P]. 
吴亮 ;
贺广东 ;
王智昊 ;
王琦琨 ;
龚加玮 ;
雷丹 ;
黄嘉丽 ;
黄毅 .
中国专利 :CN108624957A ,2018-10-09