高度翘曲样本的表面轮廓测量

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080003081.4

申请日：

2020-10-23

公开(公告)号：

CN114631001B

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

M·格林 D·欧文陈海光

申请人：

科磊股份有限公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

刘丽楠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	授权	授权

共 50 条

[1]

高度翘曲样本的表面轮廓测量 [P].

M·格林 ;

D·欧文 ;

陈海光 .

中国专利 :CN114631001A ,2022-06-14

[2]

表面轮廓测量设备 [P].

刘永雄 ;

崔永珍 ;

曺哲熏 .

中国专利 :CN101970981A ,2011-02-09

[3]

表面轮廓测量系统 [P].

方仲平 .

中国专利 :CN114641667A ,2022-06-17

[4]

晶片翘曲测量装置和方法 [P].

李瑞评 ;

曾柏翔 ;

陈燕 ;

张佳浩 ;

郑贤良 ;

陈铭欣 .

中国专利 :CN113013050B ,2021-06-22

[5]

食品表面轮廓测量系统 [P].

于长远 ;

姜召舫 ;

陈伟 ;

杨民 .

中国专利 :CN111649702B ,2020-09-11

[6]

食品表面轮廓测量系统 [P].

李洪斌 ;

赵万胜 ;

张全忠 ;

王保卫 ;

李武斌 ;

刘增强 .

中国专利 :CN106643626A ,2017-05-10

[7]

食品表面轮廓测量系统 [P].

李洪斌 ;

赵万胜 ;

张全忠 ;

王保卫 ;

李武斌 ;

刘增强 .

中国专利 :CN206281480U ,2017-06-27

[8]

隧道内表面轮廓测量系统 [P].

佘海龙 ;

舒洋 ;

张艳军 ;

郑媚春 .

中国专利 :CN221325441U ,2024-07-12

[9]

基于干涉测量表面轮廓的厚度测量技术 [P].

泽维尔·C·德莱格 .

中国专利 :CN101019000B ,2007-08-15

[10]

烟用爆珠表面轮廓测量方法 [P].

崔廷 ;

许克静 ;

刘前进 ;

赵阔 ;

贾国涛 ;

李悦 ;

刘超 ;

郝辉 ;

陈泽少 ;

冯颖杰 ;

杨宗灿 ;

张婷婷 .

中国专利 :CN111189384A ,2020-05-22

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