外延层制造方法、外延层及增大工艺窗口的超结功率器件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510608600.4
申请日
2025-05-13
公开(公告)号
CN120417452A
公开(公告)日
2025-08-01
发明(设计)人
朱袁正 周锦程 李宗清
申请人
无锡新洁能股份有限公司
申请人地址
214028 江苏省无锡市新吴区电腾路6号
IPC主分类号
H10D62/00
IPC分类号
H10D62/10
代理机构
无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104
代理人
马新军;曹祖良
法律状态
实质审查的生效
国省代码
江苏省 无锡市
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共 50 条
[1]
外延层制造方法、外延层及宽工艺窗口的超结功率器件 [P]. 
朱袁正 ;
周锦程 ;
李宗清 .
中国专利 :CN120417450A ,2025-08-01
[2]
一种外延层的制造方法、外延层及降噪的超结功率器件 [P]. 
朱袁正 ;
周锦程 ;
李宗清 .
中国专利 :CN120417451A ,2025-08-01
[3]
一种超结功率器件的外延层的制造方法 [P]. 
朱袁正 ;
周锦程 ;
李宗清 .
中国专利 :CN120184003A ,2025-06-20
[4]
外延片及超结功率器件 [P]. 
林志鑫 ;
钟旻远 ;
姚桢 .
中国专利 :CN202839618U ,2013-03-27
[5]
用于超结功率器件结构的下层外延层电阻测量结构 [P]. 
贾璐 ;
楼颖颖 .
中国专利 :CN102751215A ,2012-10-24
[6]
超结MOS器件的反包外延层厚度监测方法 [P]. 
李睿 ;
曹志伟 ;
张召 .
中国专利 :CN115632005A ,2023-01-20
[7]
外延片、其生产方法及超结功率器件 [P]. 
林志鑫 ;
钟旻远 ;
姚桢 .
中国专利 :CN103633119A ,2014-03-12
[8]
氮化镓功率器件外延层结构及制备方法 [P]. 
林小坤 ;
邓顺达 ;
杨鸿志 .
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[9]
半导体器件外延工艺及包括其形成的外延层的半导体器件 [P]. 
涂火金 ;
邓钦 ;
刘厥扬 ;
胡展源 .
中国专利 :CN113823561A ,2021-12-21
[10]
外延层、外延层生长方法及半导体结构 [P]. 
赵旭熠 ;
王玮竹 ;
尚金铭 .
中国专利 :CN119800494A ,2025-04-11