バッチ式熱処理炉[ja]

被引：0

申请号：

JP20230218261

申请日：

2023-12-25

公开(公告)号：

JP2025101419A

公开(公告)日：

2025-07-07

发明(设计)人：

KYOGOKU TAKASHI SUZUKI JUNJI YONEZAWA HIROSHI

申请人：

TDK CORP

申请人地址：

IPC主分类号：

F27D7/02

IPC分类号：

F27B9/16

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

熱処理装置及び熱処理方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010092659A1 ,2012-08-16

[2]

熱処理装置[ja] [P].

YAMADA TAKAYASU ;

SHIGEMASU SHOGO ;

EDAMOTO NOBUO .

日本专利 :JP2025033805A ,2025-03-13

[3]

熱処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP5778363B1 ,2015-09-16

[4]

熱処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP2023027326A ,2023-03-01

[5]

熱処理炉の温度分布計測方法[ja] [P].

日本专利 :JP5831485B2 ,2015-12-09

[6]

横型熱処理炉、熱処理方法及びシリコンウェーハの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7238943B1 ,2023-03-14

[7]

蒸し機及び加熱処理方法[ja] [P].

日本专利 :JP6457685B1 ,2019-01-23

[8]

基板処理方法、熱処理装置、及び半導体製造設備[ja] [P].

LEE SUNG YONG ;

OH MYUNG HWAN ;

PARK SUNG KYU .

日本专利 :JP2024080601A ,2024-06-13

[9]

加熱調理器[ja] [P].

日本专利 :JP5881265B1 ,2016-03-09

[10]

加熱調理器[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016170734A1 ,2018-02-22

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