熱処理装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20150009100

申请日：

2015-01-21

公开(公告)号：

JP5778363B1

公开(公告)日：

2015-09-16

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

F27B9/08

IPC分类号：

C01B31/04 F27D11/02

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日

法律状态

法律状态信息

共 50 条

[1]

熱処理装置[ja] [P].

YAMADA TAKAYASU ;

SHIGEMASU SHOGO ;

EDAMOTO NOBUO .

日本专利 :JP2025033805A ,2025-03-13

[2]

熱処理装置[ja] [P].

日本专利 :JP2023027326A ,2023-03-01

[3]

熱処理装置及び熱処理方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010092659A1 ,2012-08-16

[4]

バッチ式熱処理炉[ja] [P].

KYOGOKU TAKASHI ;

SUZUKI JUNJI ;

YONEZAWA HIROSHI .

日本专利 :JP2025101419A ,2025-07-07

[5]

基板処理装置[ja] [P].

ASAHARA GENTOKU .

日本专利 :JP2024036025A ,2024-03-15

[6]

基板処理方法、熱処理装置、及び半導体製造設備[ja] [P].

LEE SUNG YONG ;

OH MYUNG HWAN ;

PARK SUNG KYU .

日本专利 :JP2024080601A ,2024-06-13

[7]

基板処理方法及び基板処理装置[ja] [P].

KARASAWA HIROYUKI ;

YAMAMOTO MASAKAZU ;

TAKENAGA YUICHI ;

KANG YOUNGTAI ;

YAMAZAKI SHOTA .

日本专利 :JP2025021596A ,2025-02-14

[8]

基板処理装置及び基板処理方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022154555A ,2022-10-13

[9]

熱処理炉の温度分布計測方法[ja] [P].

日本专利 :JP5831485B2 ,2015-12-09

[10]

蒸し機及び加熱処理方法[ja] [P].

日本专利 :JP6457685B1 ,2019-01-23

← 1 2 3 4 5 →