一种晶圆传输装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510912348.6

申请日：

2025-07-02

公开(公告)号：

CN120413497A

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

谷康康

申请人：

长鑫新桥存储技术有限公司

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区新淮大道2788号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/67

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250702
2025-11-14	授权	授权
2025-08-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆传输装置 [P].

谷康康 .

中国专利 :CN120413497B ,2025-11-14

[2]

一种晶圆传输方法及晶圆前端传输装置 [P].

孟亚东 ;

陆洪春 ;

王道广 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117476523B ,2024-06-14

[3]

一种晶圆传输方法及晶圆前端传输装置 [P].

孟亚东 ;

陆洪春 ;

王道广 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117476523A ,2024-01-30

[4]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004A ,2021-09-24

[5]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004B ,2024-02-27

[6]

一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P].

叶莹 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

祝佳辉 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

张冬峰 .

中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27

[7]

一种晶圆传输装置 [P].

吴春 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

张胜森 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117410213B ,2024-03-22

[8]

一种晶圆传输装置 [P].

罗银夫 ;

刘二壮 ;

黄允文 ;

刘枫 ;

刘涛 ;

蔡斌 .

中国专利 :CN114597149A ,2022-06-07

[9]

一种晶圆传输装置 [P].

蔡斌 ;

刘二壮 ;

刘涛 ;

刘枫 ;

黄允文 .

中国专利 :CN114678310A ,2022-06-28

[10]

一种晶圆传输装置 [P].

施钦天 ;

刘大威 ;

徐铭 ;

崔佳伟 .

中国专利 :CN222600943U ,2025-03-11

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