一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310678889.8

申请日：

2023-06-09

公开(公告)号：

CN116639955B

公开(公告)日：

2025-07-25

发明(设计)人：

顾德盛邵学亮李开杰罗斯诗张兴宇

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511500 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C04B35/01

IPC分类号：

C04B35/622

代理机构：

清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815

代理人：

黄迅

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法 [P].

张立涵 ;

徐涛 ;

陆杨军 ;

王恒煜 .

中国专利 :CN119080476A ,2024-12-06

[2]

一种高迁移率氧化铟钛铈钽靶材及其制备方法 [P].

张兴宇 ;

邵学亮 ;

王奇峰 ;

李开杰 ;

罗斯诗 ;

顾德盛 .

中国专利 :CN116639956B ,2024-08-30

[3]

一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法 [P].

张立涵 ;

徐涛 ;

陆杨军 ;

王恒煜 .

中国专利 :CN119080477A ,2024-12-06

[4]

一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法 [P].

张立涵 ;

徐涛 ;

陆杨军 ;

王恒煜 .

中国专利 :CN119080477B ,2025-11-25

[5]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法 [P].

罗斯诗 ;

李开杰 ;

王奇峰 ;

顾德盛 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118878306A ,2024-11-01

[6]

一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法 [P].

谭洪蕾 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

顾德胜 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN117185779B ,2025-11-28

[7]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法 [P].

谢佳琦 ;

卿小斐 ;

何小山 ;

蔡新志 ;

余芳 ;

李帅 ;

王呈 .

中国专利 :CN119751020B ,2025-10-17

[8]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法 [P].

谢佳琦 ;

卿小斐 ;

何小山 ;

蔡新志 ;

余芳 ;

李帅 ;

王呈 .

中国专利 :CN119751020A ,2025-04-04

[9]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法和应用 [P].

王靓栎 ;

葛春桥 ;

陈露 ;

高洋 .

中国专利 :CN118598639A ,2024-09-06

[10]

氧化铟钛钽铈粉末及其制备方法和改善氧化铟钛钽铈性能的方法 [P].

李开杰 ;

邵学亮 ;

王奇峰 ;

谭洪蕾 ;

罗斯诗 .

中国专利 :CN116082045B ,2024-05-17

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