一种氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411294853.0

申请日：

2024-09-14

公开(公告)号：

CN119080476A

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

张立涵徐涛陆杨军王恒煜

申请人：

先导薄膜材料（安徽）有限公司

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区龙子湖路658号

IPC主分类号：

C04B35/01

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/64 C23C14/08 C23C14/34

代理机构：

长沙辰齐知壹知识产权代理事务所(普通合伙) 43290

代理人：

李琼芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/01申请日:20240914
2024-12-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

罗斯诗 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN116639955B ,2025-07-25

[2]

一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法 [P].

张立涵 ;

徐涛 ;

陆杨军 ;

王恒煜 .

中国专利 :CN119080477A ,2024-12-06

[3]

一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法 [P].

张立涵 ;

徐涛 ;

陆杨军 ;

王恒煜 .

中国专利 :CN119080477B ,2025-11-25

[4]

一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法 [P].

谭洪蕾 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

顾德胜 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN117185779B ,2025-11-28

[5]

一种氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法和应用 [P].

张高祥 ;

张立涵 ;

王奇峰 ;

李开杰 ;

熊浩 .

中国专利 :CN118955091A ,2024-11-15

[6]

一种高迁移率氧化铟钛铈钽靶材及其制备方法 [P].

张兴宇 ;

邵学亮 ;

王奇峰 ;

李开杰 ;

罗斯诗 ;

顾德盛 .

中国专利 :CN116639956B ,2024-08-30

[7]

一种氧化铟锌靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN116162908B ,2024-08-30

[8]

一种掺钡钛氧化铟靶材及其制备方法 [P].

刘成龙 ;

吴鸿毅 ;

陆洲 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN119430865A ,2025-02-14

[9]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法 [P].

罗斯诗 ;

李开杰 ;

王奇峰 ;

顾德盛 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118878306A ,2024-11-01

[10]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法和应用 [P].

王靓栎 ;

葛春桥 ;

陈露 ;

高洋 .

中国专利 :CN118598639A ,2024-09-06

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