一种氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法和应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410880988.9
申请日
2024-07-02
公开(公告)号
CN118955091A
公开(公告)日
2024-11-15
发明(设计)人
张高祥 张立涵 王奇峰 李开杰 熊浩
申请人
先导薄膜材料(广东)有限公司
申请人地址
511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
IPC主分类号
C04B35/01
IPC分类号
C04B35/622 C23C14/08
代理机构
清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815
代理人
龚元元
法律状态
公开
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
一种氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法 [P]. 
张立涵 ;
徐涛 ;
陆杨军 ;
王恒煜 .
中国专利 :CN119080476A ,2024-12-06
[2]
一种氧化铟铈靶材及其制备方法与应用 [P]. 
高洋 ;
丁金铎 ;
李强 ;
葛春桥 .
中国专利 :CN118255577A ,2024-06-28
[3]
一种氧化铟铈靶材的制备方法及其应用 [P]. 
徐威 ;
葛春桥 ;
丁金铎 ;
程玺儒 ;
陈露 ;
王靓栎 .
中国专利 :CN121135374A ,2025-12-16
[4]
一种氧化铈掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P]. 
程玺儒 ;
徐威 .
中国专利 :CN121135372A ,2025-12-16
[5]
一种氧化铟掺杂钛钽铈靶材及其制备方法 [P]. 
顾德盛 ;
邵学亮 ;
李开杰 ;
罗斯诗 ;
张兴宇 .
中国专利 :CN116639955B ,2025-07-25
[6]
一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 ;
李强 ;
罗泽宇 .
中国专利 :CN119306475A ,2025-01-14
[7]
一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法 [P]. 
谭洪蕾 ;
邵学亮 ;
李开杰 ;
顾德胜 ;
张兴宇 .
中国专利 :CN117185779B ,2025-11-28
[8]
一种高纯度氧化铟铈钽钬靶材及其制备方法 [P]. 
罗斯诗 ;
李开杰 ;
邵学亮 ;
顾德盛 ;
张兴宇 .
中国专利 :CN117209256B ,2025-11-28
[9]
一种氧化铟铈靶材及其制备方法和应用 [P]. 
王靓栎 ;
葛春桥 ;
陈露 ;
高洋 .
中国专利 :CN118598639A ,2024-09-06
[10]
钼钛靶材及其制备方法和应用 [P]. 
赵娜娜 ;
张泽豪 ;
马晓钰 ;
李继林 ;
钟黎声 ;
邹军涛 ;
许云华 .
中国专利 :CN118064848A ,2024-05-24