一种氧化铟铈靶材及其制备方法与应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410244966.3

申请日：

2024-03-05

公开(公告)号：

CN118255577A

公开(公告)日：

2024-06-28

发明(设计)人：

高洋丁金铎李强葛春桥

申请人：

中山智隆新材料科技有限公司

申请人地址：

528400 广东省中山市板芙镇智能制造装备产业园智润路2号(住所申报)

IPC主分类号：

C04B35/01

IPC分类号：

C04B35/622 H01L31/18 H10K71/00 H10K30/50 H01L31/072

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

肖云

法律状态：

公开

国省代码：

广东省中山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-28	公开	公开
2024-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/01申请日:20240305

共 50 条

[1]

一种氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法和应用 [P].

张高祥 ;

张立涵 ;

王奇峰 ;

李开杰 ;

熊浩 .

中国专利 :CN118955091A ,2024-11-15

[2]

一种氧化铟铈靶材的制备方法及其应用 [P].

徐威 ;

葛春桥 ;

丁金铎 ;

程玺儒 ;

陈露 ;

王靓栎 .

中国专利 :CN121135374A ,2025-12-16

[3]

一种氧化铈掺杂氧化铟基靶材及其制备方法和应用 [P].

程玺儒 ;

徐威 .

中国专利 :CN121135372A ,2025-12-16

[4]

一种氧化镍基靶材的制备方法与应用 [P].

罗泽宇 ;

陈露 ;

葛春桥 .

中国专利 :CN118026645A ,2024-05-14

[5]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法和应用 [P].

王靓栎 ;

葛春桥 ;

陈露 ;

高洋 .

中国专利 :CN118598639A ,2024-09-06

[6]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法 [P].

谢佳琦 ;

卿小斐 ;

何小山 ;

蔡新志 ;

余芳 ;

李帅 ;

王呈 .

中国专利 :CN119751020B ,2025-10-17

[7]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法 [P].

谢佳琦 ;

卿小斐 ;

何小山 ;

蔡新志 ;

余芳 ;

李帅 ;

王呈 .

中国专利 :CN119751020A ,2025-04-04

[8]

一种氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法 [P].

张立涵 ;

徐涛 ;

陆杨军 ;

王恒煜 .

中国专利 :CN119080476A ,2024-12-06

[9]

氧化铟靶材和氧化铟靶材制备方法 [P].

雷雨 ;

许积文 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

杨永添 .

中国专利 :CN114059025A ,2022-02-18

[10]

一种氧化铟钨靶材及其制备方法 [P].

谭洪蕾 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN118307297A ,2024-07-09

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