半导体设备的清洁组件及半导体设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422274572.0

申请日：

2024-09-18

公开(公告)号：

CN223171481U

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

余先勇

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号

IPC主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B5/02 B08B1/20

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

潘彦君

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体设备的清洁装置和半导体设备系统 [P].

宋宏浩 ;

李勇刚 ;

石春来 ;

王高杰 ;

李璟轩 .

中国专利 :CN223264464U ,2025-08-26

[2]

半导体设备、半导体电路及制造半导体设备的方法 [P].

中野隆 ;

远矢弘和 .

中国专利 :CN1659716B ,2005-08-24

[3]

半导体工艺及半导体设备 [P].

陈俊志 ;

钟嘉麒 ;

杨文豪 ;

黄镖浚 ;

林宏铭 .

中国专利 :CN110568733A ,2019-12-13

[4]

半导体装置及半导体设备 [P].

连于仁 ;

余振华 ;

谢政杰 ;

余国宠 ;

郭鸿毅 ;

沈科翰 .

中国专利 :CN223552532U ,2025-11-14

[5]

清洁装置及半导体设备 [P].

李生骄 ;

董佳仁 .

中国专利 :CN209156635U ,2019-07-26

[6]

清洁装置及半导体设备 [P].

李立辉 ;

赖太辛 ;

叶伟乐 ;

肖康南 .

中国专利 :CN119175655B ,2025-10-28

[7]

清洁方法及半导体设备 [P].

陈齐 ;

田京玲 .

中国专利 :CN120674343A ,2025-09-19

[8]

清洁装置及半导体设备 [P].

李佳佳 .

中国专利 :CN115639727A ,2023-01-24

[9]

清洁装置及半导体设备 [P].

李生骄 ;

董佳仁 .

中国专利 :CN111167810A ,2020-05-19

[10]

清洁装置及半导体设备 [P].

李立辉 ;

赖太辛 ;

叶伟乐 ;

肖康南 .

中国专利 :CN119175655A ,2024-12-24

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