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基于二次谐波扫描的晶圆检测方法及系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510440086.8
申请日：
2025-04-09
公开(公告)号：
CN120432396A
公开(公告)日：
2025-08-05
发明(设计)人：
张鸣皓 黄崇基 赵威威 周朴希
申请人：
上海微崇半导体设备有限公司
申请人地址：
200400 上海市杨浦区长阳路1687号西1120幢一层113-1、112-2、112-3、112-8、112-9室
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
G01N21/01 G01N21/88 G01R31/28
代理机构：
上海市汇业律师事务所 31325
代理人：
殷颖
法律状态：
公开
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-05 公开 公开
2025-08-22 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20250409
共 50 条
[1]
基于二次谐波的晶圆检测方法及系统 [P]. 
张羽婵 ;
黄崇基 ;
赵威威 ;
周朴希 .
中国专利 :CN120895489A ,2025-11-04
[2]
晶圆检测系统及检测方法 [P]. 
王绍通 ;
赵威威 ;
黄崇基 .
中国专利 :CN117491384B ,2024-06-14
[3]
晶圆检测系统及检测方法 [P]. 
王绍通 ;
赵威威 ;
黄崇基 .
中国专利 :CN117491384A ,2024-02-02
[4]
二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
赵泓达 ;
王磊 ;
张学文 ;
李博 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
岳嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577727A ,2022-06-03
[5]
二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
赵泓达 ;
王磊 ;
张学文 ;
李博 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
岳嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577727B ,2025-03-21
[6]
激光扫描式二次谐波显微系统及二次谐波测试方法 [P]. 
李千 ;
李为 .
中国专利 :CN115112573B ,2025-01-24
[7]
激光扫描式二次谐波显微系统及二次谐波测试方法 [P]. 
李千 ;
李为 .
中国专利 :CN115112573A ,2022-09-27
[8]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
王磊 ;
李博 ;
张学文 ;
赵泓达 ;
张昆鹏 ;
张喆 ;
岳嵩 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577728A ,2022-06-03
[9]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
王磊 ;
李博 ;
张学文 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577729A ,2022-06-03
[10]
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置 [P]. 
王然 ;
张喆 ;
张昆鹏 ;
赵泓达 ;
岳嵩 ;
王磊 ;
李博 ;
张学文 ;
张紫辰 .
中国专利 :CN114577729B ,2024-09-20
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