一种尾气冷凝装置及半导体工艺系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422343243.7

申请日：

2024-09-24

公开(公告)号：

CN223170356U

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

高怡聪纪雪峰

申请人：

上海良薇机电工程有限公司

申请人地址：

201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室

IPC主分类号：

B01D5/00

IPC分类号：

代理机构：

上海领誉知识产权代理有限公司 31383

代理人：

车超平

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统 [P].

纪雪峰 ;

何强军 .

中国专利 :CN222785260U ,2025-04-22

[2]

一种尾气冷凝装置 [P].

李驰 ;

甄宝贵 .

中国专利 :CN209490507U ,2019-10-15

[3]

尾气冷凝系统结构 [P].

孙军 ;

苏晓东 ;

杜立彬 ;

白仲虎 ;

杨艳坤 ;

戴晓峰 ;

余斌 .

中国专利 :CN206876007U ,2018-01-12

[4]

尾气净化装置及半导体工艺系统 [P].

夏振军 .

中国专利 :CN112030229B ,2020-12-04

[5]

一种半导体尾气冷热双处理装置 [P].

崔汉博 ;

崔汉宽 .

中国专利 :CN213160100U ,2021-05-11

[6]

一种真空尾气冷凝装置 [P].

张广龙 ;

张龙 ;

于东 .

中国专利 :CN208887404U ,2019-05-21

[7]

一种高效尾气冷凝装置 [P].

郑云满 .

中国专利 :CN212700621U ,2021-03-16

[8]

一种用于尾气冷凝装置 [P].

张育敏 ;

殷栎 ;

赖立冬 .

中国专利 :CN218358306U ,2023-01-24

[9]

一种塔式尾气冷凝装置 [P].

曾宪京 .

中国专利 :CN221549393U ,2024-08-16

[10]

一种化工尾气冷凝装置 [P].

时清海 .

中国专利 :CN223138401U ,2025-07-22

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