一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323510835.5

申请日：

2023-12-22

公开(公告)号：

CN222785260U

公开(公告)日：

2025-04-22

发明(设计)人：

纪雪峰何强军

申请人：

上海良薇机电工程有限公司

申请人地址：

201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B01D53/04

代理机构：

上海领誉知识产权代理有限公司 31383

代理人：

车超平

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

尾气处理装置及半导体设备 [P].

周厉颖 ;

杨帅 ;

杨慧萍 .

中国专利 :CN111569594A ,2020-08-25

[2]

一种用于半导体设备的尾气处理装置和半导体设备 [P].

周志文 .

中国专利 :CN113445027A ,2021-09-28

[3]

一种新型干式吸附尾气处理装置及半导体尾气处理工艺系统 [P].

刘巧俊 ;

纪雪峰 ;

巴涵 .

中国专利 :CN221788725U ,2024-10-01

[4]

一种尾气处理装置及半导体生产设备 [P].

王凯 .

中国专利 :CN220696271U ,2024-04-02

[5]

气体输送系统的尾气处理设备、方法及半导体工艺系统 [P].

纪雪峰 ;

范威威 ;

何强军 .

中国专利 :CN117753164A ,2024-03-26

[6]

一种尾气回收处理装置、方法、设备及半导体工艺系统 [P].

郭晋禛 ;

葛菡 ;

纪雪峰 .

中国专利 :CN118649531A ,2024-09-17

[7]

一种尾气回收处理装置、方法、设备及半导体工艺系统 [P].

郭晋禛 ;

葛菡 ;

纪雪峰 .

中国专利 :CN118649531B ,2025-06-17

[8]

一种尾气冷凝装置及半导体工艺系统 [P].

高怡聪 ;

纪雪峰 .

中国专利 :CN223170356U ,2025-08-01

[9]

半导体工艺设备的尾气处理装置 [P].

闫晓腾 ;

杨帅 ;

杨慧萍 .

中国专利 :CN112539413A ,2021-03-23

[10]

尾气处理装置及半导体加工设备 [P].

姜艳杰 ;

李旭刚 .

中国专利 :CN110975453A ,2020-04-10

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