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一种尾气处理装置及半导体生产设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322291573.1
申请日：
2023-08-24
公开(公告)号：
CN220696271U
公开(公告)日：
2024-04-02
发明(设计)人：
王凯
申请人：
通威太阳能（眉山）有限公司
申请人地址：
620038 四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号
IPC主分类号：
B01D53/00
IPC分类号：
H01L21/67
B01D5/00
B01D53/18
代理机构：
广州德科知识产权代理有限公司 44381
代理人：
王世荣
法律状态：
授权
国省代码：
四川省
眉山市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 授权 | 授权 |