一种电加热式半导体加工尾气处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423269156.8

申请日：

2024-12-30

公开(公告)号：

CN223663335U

公开(公告)日：

2025-12-12

发明(设计)人：

崔汉博崔汉宽

申请人：

上海高笙集成电路设备有限公司

申请人地址：

200000 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区奔腾路413、501号、鹏翼路75号10幢一层南侧及三层

IPC主分类号：

F23G7/06

IPC分类号：

F23J15/04

代理机构：

青岛鼎丞智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 37277

代理人：

吴春艳

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体加工用干吸附式尾气处理装置 [P].

贲进 .

中国专利 :CN118267825B ,2024-09-06

[2]

一种半导体加工用干吸附式尾气处理装置 [P].

贲进 .

中国专利 :CN118267825A ,2024-07-02

[3]

尾气处理装置及半导体加工设备 [P].

姜艳杰 ;

李旭刚 .

中国专利 :CN110975453A ,2020-04-10

[4]

一种电加热尾气处理装置 [P].

刘屹 ;

朱庆 ;

韩国庆 ;

卞尔成 ;

汤志林 ;

陈平 ;

韦伟 ;

吴卫国 ;

钱义 ;

李建平 .

中国专利 :CN106499471A ,2017-03-15

[5]

一种尾气处理装置及半导体生产设备 [P].

王凯 .

中国专利 :CN220696271U ,2024-04-02

[6]

一种电加热水洗式半导体尾气处理设备 [P].

崔汉博 ;

崔汉宽 ;

陈刚 .

中国专利 :CN118001914A ,2024-05-10

[7]

一种半导体加工设备排气处理装置 [P].

李得平 ;

黄中山 .

中国专利 :CN218358024U ,2023-01-24

[8]

一种水洗式电加热尾气处理设备 [P].

杨风帆 ;

李向阳 ;

翟振东 ;

杜东恒 .

中国专利 :CN216259811U ,2022-04-12

[9]

一种水洗式半导体设备尾气处理装置 [P].

崔汉博 ;

程勇 .

中国专利 :CN223641562U ,2025-12-09

[10]

一种水洗式半导体设备尾气处理装置 [P].

张书全 .

中国专利 :CN221933561U ,2024-11-01

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