一种水洗式半导体设备尾气处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420393467.6

申请日：

2024-03-01

公开(公告)号：

CN221933561U

公开(公告)日：

2024-11-01

发明(设计)人：

张书全

申请人：

石家庄帕威半导体科技有限公司

申请人地址：

050000 河北省石家庄市桥西区裕华东路18号棉七小区4-4-703

IPC主分类号：

B01D53/30

IPC分类号：

H02J7/35

代理机构：

北京汇众通达知识产权代理事务所(普通合伙) 11622

代理人：

杨倩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种水洗式半导体设备尾气处理装置 [P].

崔汉博 ;

程勇 .

中国专利 :CN223641562U ,2025-12-09

[2]

尾气处理装置及半导体设备 [P].

周厉颖 ;

杨帅 ;

杨慧萍 .

中国专利 :CN111569594A ,2020-08-25

[3]

一种用于半导体设备的尾气处理装置和半导体设备 [P].

周志文 .

中国专利 :CN113445027A ,2021-09-28

[4]

一种水洗式尾气处理装置 [P].

陈立 ;

陶伴伟 ;

丁江明 .

中国专利 :CN220531084U ,2024-02-27

[5]

一种尾气处理装置及半导体生产设备 [P].

王凯 .

中国专利 :CN220696271U ,2024-04-02

[6]

一种半导体尾气处理装置用卡箍 [P].

崔汉宽 ;

程勇 .

中国专利 :CN222255423U ,2024-12-27

[7]

一种半导体尾气处理装置水洗腔体的防腐装置 [P].

潘家荣 ;

孙建华 ;

何亮 ;

崔益龙 .

中国专利 :CN105845542A ,2016-08-10

[8]

一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统 [P].

纪雪峰 ;

何强军 .

中国专利 :CN222785260U ,2025-04-22

[9]

一种半导体水洗吸附复合尾气处理装置及使用方法 [P].

于培勇 ;

钱润金 ;

李豪 ;

张春喜 ;

马业健 ;

蒋增亮 ;

王文瑞 ;

刘敏 ;

邢致远 ;

景智 .

中国专利 :CN121130568A ,2025-12-16

[10]

一种电加热式半导体加工尾气处理装置 [P].

崔汉博 ;

崔汉宽 .

中国专利 :CN223663335U ,2025-12-12

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