一种半导体尾气处理装置水洗腔体的防腐装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510018348.8

申请日：

2015-01-14

公开(公告)号：

CN105845542A

公开(公告)日：

2016-08-10

发明(设计)人：

潘家荣孙建华何亮崔益龙

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

汪洋;高伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-10	公开	公开
2020-03-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/00 申请公布日:20160810
2016-09-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101677915110 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2015100183488 申请日:20150114

共 50 条

[1]

一种水洗式半导体设备尾气处理装置 [P].

张书全 .

中国专利 :CN221933561U ,2024-11-01

[2]

一种水洗式半导体设备尾气处理装置 [P].

崔汉博 ;

程勇 .

中国专利 :CN223641562U ,2025-12-09

[3]

一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统 [P].

纪雪峰 ;

何强军 .

中国专利 :CN222785260U ,2025-04-22

[4]

一种半导体水洗吸附复合尾气处理装置及使用方法 [P].

于培勇 ;

钱润金 ;

李豪 ;

张春喜 ;

马业健 ;

蒋增亮 ;

王文瑞 ;

刘敏 ;

邢致远 ;

景智 .

中国专利 :CN121130568A ,2025-12-16

[5]

一种用于半导体设备的尾气处理装置和半导体设备 [P].

周志文 .

中国专利 :CN113445027A ,2021-09-28

[6]

尾气处理装置及半导体设备 [P].

周厉颖 ;

杨帅 ;

杨慧萍 .

中国专利 :CN111569594A ,2020-08-25

[7]

半导体工艺设备的尾气处理装置 [P].

闫晓腾 ;

杨帅 ;

杨慧萍 .

中国专利 :CN112539413A ,2021-03-23

[8]

一种尾气处理装置及半导体生产设备 [P].

王凯 .

中国专利 :CN220696271U ,2024-04-02

[9]

一种半导体尾气处理装置用卡箍 [P].

崔汉宽 ;

程勇 .

中国专利 :CN222255423U ,2024-12-27

[10]

尾气处理装置及半导体加工设备 [P].

姜艳杰 ;

李旭刚 .

中国专利 :CN110975453A ,2020-04-10

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