冷阱装置、尾气处理系统及半导体生产设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721533713.X

申请日：

2017-11-16

公开(公告)号：

CN207694291U

公开(公告)日：

2018-08-07

发明(设计)人：

特洛伊·乔纳森·贝克武泽成王颖慧

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区泥城镇新城路2号23幢N1128室

IPC主分类号：

B01D800

IPC分类号：

B01D4900 B01D5300 B01J1900 B01J400

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-07	授权	授权

共 50 条

[1]

冷阱装置、尾气处理系统及半导体生产设备 [P].

特洛伊·乔纳森·贝克 ;

武泽成 ;

王颖慧 .

中国专利 :CN207694292U ,2018-08-07

[2]

半导体生产设备尾气处理系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209213884U ,2019-08-06

[3]

半导体生产设备尾气处理系统和方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111189054A ,2020-05-22

[4]

一种尾气处理装置及半导体生产设备 [P].

王凯 .

中国专利 :CN220696271U ,2024-04-02

[5]

尾气处理装置及尾气处理系统 [P].

李时俊 ;

李美诗 .

中国专利 :CN216092805U ,2022-03-22

[6]

尾气处理装置及尾气处理系统 [P].

孟现政 ;

窦明波 ;

张锡龙 ;

王志强 ;

马胜峰 ;

宋风朝 ;

郭同新 .

中国专利 :CN207951116U ,2018-10-12

[7]

半导体制程尾气处理系统 [P].

林仲炫 ;

金相辉 ;

申东珍 .

中国专利 :CN217961899U ,2022-12-06

[8]

半导体批处理生产设备及半导体批处理系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109637946A ,2019-04-16

[9]

尾气捕捉冷阱及半导体加工设备 [P].

杨杰 .

中国专利 :CN120400800A ,2025-08-01

[10]

尾气处理装置及半导体设备 [P].

周厉颖 ;

杨帅 ;

杨慧萍 .

中国专利 :CN111569594A ,2020-08-25

← 1 2 3 4 5 →