半导体制程尾气处理系统

被引：0

申请号：

CN202221678077.0

申请日：

2022-07-01

公开(公告)号：

CN217961899U

公开(公告)日：

2022-12-06

发明(设计)人：

林仲炫金相辉申东珍

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区锡贤路78号5号楼东

IPC主分类号：

B01D5060

IPC分类号：

B01D5304 B01D5000

代理机构：

江苏智天知识产权代理有限公司 32550

代理人：

陈俊凤

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体制程废气处理系统 [P].

白晓锌 ;

彭认清 ;

蔡项勉 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN222788927U ,2025-04-25

[2]

半导体制程系统 [P].

张志逢 ;

陈伟仁 ;

李俊億 ;

林展永 .

中国专利 :CN212322971U ,2021-01-08

[3]

一种半导体制程排气分离与处理系统 [P].

周福岩 .

中国专利 :CN214598218U ,2021-11-05

[4]

半导体生产设备尾气处理系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209213884U ,2019-08-06

[5]

一种半导体制程废气燃烧处理系统 [P].

白晓锌 ;

彭认清 ;

蔡项勉 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN119393774A ,2025-02-07

[6]

半导体制程系统 [P].

利治育 ;

卢建宏 ;

郑迺汉 .

中国专利 :CN221427679U ,2024-07-26

[7]

半导体制程系统 [P].

魏愷进 ;

陈哲夫 .

中国专利 :CN112750725A ,2021-05-04

[8]

半导体制程夹具处理设备 [P].

刘文隆 .

中国专利 :CN203367255U ,2013-12-25

[9]

半导体制程机台及其半导体制程 [P].

林武郎 ;

郑煌玉 ;

王陈右 ;

陈世敏 ;

范釗傑 ;

高诚志 ;

刘又瑋 .

中国专利 :CN104253065A ,2014-12-31

[10]

半导体制程检测系统及半导体制程检测方法 [P].

黎焕诚 ;

陈咏裕 .

中国专利 :CN114068347A ,2022-02-18

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