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一种半导体制程废气燃烧处理系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411724674.6
申请日：
2024-11-28
公开(公告)号：
CN119393774A
公开(公告)日：
2025-02-07
发明(设计)人：
白晓锌 彭认清 蔡项勉 陈瑞勇 陈志达
申请人：
厦门钧摩芯半导体有限公司
申请人地址：
361100 福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔安北路3699号高新大厦601A室
IPC主分类号：
F23G7/06
IPC分类号：
F23G5/44 F23K5/00
代理机构：
广州中祺知力知识产权代理事务所(普通合伙) 44736
代理人：
林琳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-07 公开 公开
2025-02-25 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):F23G 7/06申请日:20241128
共 50 条
[1]
一种半导体制程废气处理系统 [P]. 
白晓锌 ;
彭认清 ;
蔡项勉 ;
陈瑞勇 ;
陈志达 .
中国专利 :CN222788927U ,2025-04-25
[2]
半导体制程尾气处理系统 [P]. 
林仲炫 ;
金相辉 ;
申东珍 .
中国专利 :CN217961899U ,2022-12-06
[3]
一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P]. 
白晓锌 ;
陈瑞勇 ;
陈志达 .
中国专利 :CN221463844U ,2024-08-02
[4]
一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P]. 
杨春水 ;
曹小康 ;
司马超 ;
张坤 ;
赵力行 ;
邹昭平 ;
蒋俊海 ;
于浩 .
中国专利 :CN208990470U ,2019-06-18
[5]
一种半导体制程废气的燃烧处理设备 [P]. 
郭志锋 .
中国专利 :CN112107944A ,2020-12-22
[6]
一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P]. 
杨春水 ;
曹小康 ;
司马超 ;
张坤 ;
赵力行 ;
邹昭平 ;
蒋俊海 ;
于浩 .
中国专利 :CN108636046A ,2018-10-12
[7]
半导体制程废气处理设备 [P]. 
宁腾飞 ;
杨春水 ;
章文军 ;
张坤 ;
陈彦岗 ;
杨春涛 ;
王继飞 ;
席涛涛 ;
何磊 ;
闫潇 .
中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08
[8]
一种适用于半导体制程废气处理系统 [P]. 
席涛涛 ;
王继飞 ;
杨春水 ;
陈彦岗 ;
杨春涛 ;
章文军 ;
张坤 ;
闫萧 ;
蔡传涛 ;
王磊 .
中国专利 :CN110314516A ,2019-10-11
[9]
一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P]. 
邓筑蓉 .
中国专利 :CN111550814A ,2020-08-18
[10]
半导体废气处理装置及半导体制程系统 [P]. 
王继飞 ;
李阳 ;
石天宇 .
中国专利 :CN119042643A ,2024-11-29
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