一种半导体制程废气的燃烧处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010924898.7

申请日：

2020-09-05

公开(公告)号：

CN112107944A

公开(公告)日：

2020-12-22

发明(设计)人：

郭志锋

申请人：

申请人地址：

325000 浙江省温州市鹿城区学院中路7号

IPC主分类号：

B01D4706

IPC分类号：

B01D5374 B01D5326 F23G706

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 47/06 申请日:20200905
2020-12-22	公开	公开
2021-04-16	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B01D 47/06 申请公布日:20201222

共 50 条

[1]

半导体制程废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08

[2]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

杨春水 ;

曹小康 ;

司马超 ;

张坤 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN208990470U ,2019-06-18

[3]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

杨春水 ;

曹小康 ;

司马超 ;

张坤 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN108636046A ,2018-10-12

[4]

一种半导体制程废气燃烧处理系统 [P].

白晓锌 ;

彭认清 ;

蔡项勉 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN119393774A ,2025-02-07

[5]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

邓筑蓉 .

中国专利 :CN111550814A ,2020-08-18

[6]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

白晓锌 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN221463844U ,2024-08-02

[7]

半导体制程废气处理的控制方法及设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112933861B ,2021-06-11

[8]

一种半导体制程的处理设备 [P].

林俊安 .

中国专利 :CN119560401A ,2025-03-04

[9]

半导体制程夹具处理设备 [P].

刘文隆 .

中国专利 :CN203367255U ,2013-12-25

[10]

一种适用于半导体制程废气处理设备 [P].

席涛涛 ;

王继飞 ;

杨春水 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

章文军 ;

张坤 ;

闫萧 ;

蔡传涛 ;

王磊 .

中国专利 :CN210473565U ,2020-05-08

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