一种半导体制程的处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311590484.5

申请日：

2023-11-27

公开(公告)号：

CN119560401A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

林俊安

申请人：

欧门科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾苗栗县头份市兴埔街79号之1

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

北京汇信合知识产权代理有限公司 11335

代理人：

张龙

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	公开	公开
2025-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231127

共 50 条

[1]

半导体制程夹具处理设备 [P].

刘文隆 .

中国专利 :CN203367255U ,2013-12-25

[2]

半导体制程废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08

[3]

半导体制程及设备 [P].

林俊安 .

中国专利 :CN118645439A ,2024-09-13

[4]

一种半导体制程废气的燃烧处理设备 [P].

郭志锋 .

中国专利 :CN112107944A ,2020-12-22

[5]

半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法 [P].

尚思飞 .

中国专利 :CN118610131B ,2024-11-12

[6]

半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法 [P].

尚思飞 .

中国专利 :CN118610131A ,2024-09-06

[7]

半导体制程设备 [P].

张佑语 ;

黄俊尧 .

中国专利 :CN208938918U ,2019-06-04

[8]

半导体制程机台及其半导体制程 [P].

林武郎 ;

郑煌玉 ;

王陈右 ;

陈世敏 ;

范釗傑 ;

高诚志 ;

刘又瑋 .

中国专利 :CN104253065A ,2014-12-31

[9]

半导体制程 [P].

王文杰 ;

陈逸男 ;

刘献文 .

中国专利 :CN102810505A ,2012-12-05

[10]

半导体制程 [P].

李秋德 .

中国专利 :CN101667540A ,2010-03-10

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