半导体制程废气处理的控制方法及设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110097807.1

申请日：

2021-01-25

公开(公告)号：

CN112933861B

公开(公告)日：

2021-06-11

发明(设计)人：

宁腾飞杨春水章文军张坤陈彦岗杨春涛王继飞席涛涛何磊闫潇

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座

IPC主分类号：

B01D5300

IPC分类号：

B01D4900 B01D4706 B01D4700 F28C306

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李文丽

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-11	公开	公开
2022-08-12	授权	授权
2021-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/00 申请日:20210125
2022-07-08	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):B01D 53/00 变更事项:申请人变更前:北京京仪自动化装备技术有限公司变更后:北京京仪自动化装备技术股份有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层变更后:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座

共 50 条

[1]

半导体制程废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08

[2]

半导体制程废气的加热处理装置 [P].

林仲炫 ;

金相辉 ;

申东珍 .

中国专利 :CN218475103U ,2023-02-14

[3]

半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法 [P].

尚思飞 .

中国专利 :CN118610131B ,2024-11-12

[4]

半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法 [P].

尚思飞 .

中国专利 :CN118610131A ,2024-09-06

[5]

半导体废气处理装置及半导体制程系统 [P].

王继飞 ;

李阳 ;

石天宇 .

中国专利 :CN119042643A ,2024-11-29

[6]

半导体制程夹具处理设备 [P].

刘文隆 .

中国专利 :CN203367255U ,2013-12-25

[7]

一种半导体制程废气的燃烧处理设备 [P].

郭志锋 .

中国专利 :CN112107944A ,2020-12-22

[8]

一种适用于半导体制程废气处理设备 [P].

席涛涛 ;

王继飞 ;

杨春水 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

章文军 ;

张坤 ;

闫萧 ;

蔡传涛 ;

王磊 .

中国专利 :CN210473565U ,2020-05-08

[9]

半导体制程的方法 [P].

郑威昌 ;

陈政光 ;

廖啟宏 .

中国专利 :CN108987251A ,2018-12-11

[10]

半导体制程及设备 [P].

林俊安 .

中国专利 :CN118645439A ,2024-09-13

← 1 2 3 4 5 →