一种半导体制程废气的燃烧处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821079320.0

申请日：

2018-07-09

公开(公告)号：

CN208990470U

公开(公告)日：

2019-06-18

发明(设计)人：

杨春水曹小康司马超张坤赵力行邹昭平蒋俊海于浩

申请人：

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室

IPC主分类号：

B01D5000

IPC分类号：

B01D5375 B01D5326 B01D5340 B01D5342 F23G706

代理机构：

芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138

代理人：

郑直

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-18	授权	授权
2021-10-15	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B01D 50/00 变更事项:专利权人变更前:北京京仪自动化装备技术有限公司变更后:北京京仪自动化装备技术股份有限公司变更事项:地址变更前:102600 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座变更后:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
2020-08-04	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B01D 50/00 登记生效日:20200716 变更事项:专利权人变更前权利人:安徽京仪自动化装备技术有限公司变更后权利人:北京京仪自动化装备技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:241000 安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室变更后权利人:102600 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座

共 50 条

[1]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

杨春水 ;

曹小康 ;

司马超 ;

张坤 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN108636046A ,2018-10-12

[2]

一种半导体制程废气的燃烧处理设备 [P].

郭志锋 .

中国专利 :CN112107944A ,2020-12-22

[3]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

邓筑蓉 .

中国专利 :CN111550814A ,2020-08-18

[4]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

白晓锌 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN221463844U ,2024-08-02

[5]

一种半导体制程废气燃烧处理系统 [P].

白晓锌 ;

彭认清 ;

蔡项勉 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN119393774A ,2025-02-07

[6]

半导体制程废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08

[7]

半导体废气处理装置及半导体制程系统 [P].

王继飞 ;

李阳 ;

石天宇 .

中国专利 :CN119042643A ,2024-11-29

[8]

一种半导体制程废气处理器 [P].

程建国 .

中国专利 :CN112915654A ,2021-06-08

[9]

半导体制程废气的加热处理装置 [P].

林仲炫 ;

金相辉 ;

申东珍 .

中国专利 :CN218475103U ,2023-02-14

[10]

一种用于半导体制程废气燃烧净化的加热装置 [P].

白晓锌 ;

彭认清 ;

蔡项勉 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN223595941U ,2025-11-25

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