一种半导体制程废气处理器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110091425.8

申请日：

2021-01-23

公开(公告)号：

CN112915654A

公开(公告)日：

2021-06-08

发明(设计)人：

程建国

申请人：

申请人地址：

213161 江苏省常州市武进区常武中路18-69号

IPC主分类号：

B01D4600

IPC分类号：

B01D4610 B01D4612 B01D5304 B01D5300

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 46/00 申请日:20210123
2021-06-08	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体制程废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08

[2]

半导体废气处理装置及半导体制程系统 [P].

王继飞 ;

李阳 ;

石天宇 .

中国专利 :CN119042643A ,2024-11-29

[3]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

白晓锌 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN221463844U ,2024-08-02

[4]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

邓筑蓉 .

中国专利 :CN111550814A ,2020-08-18

[5]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

杨春水 ;

曹小康 ;

司马超 ;

张坤 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN208990470U ,2019-06-18

[6]

一种半导体制程废气的燃烧处理装置 [P].

杨春水 ;

曹小康 ;

司马超 ;

张坤 ;

赵力行 ;

邹昭平 ;

蒋俊海 ;

于浩 .

中国专利 :CN108636046A ,2018-10-12

[7]

一种半导体制程废气处理系统 [P].

白晓锌 ;

彭认清 ;

蔡项勉 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN222788927U ,2025-04-25

[8]

半导体制程机台及其半导体制程 [P].

林武郎 ;

郑煌玉 ;

王陈右 ;

陈世敏 ;

范釗傑 ;

高诚志 ;

刘又瑋 .

中国专利 :CN104253065A ,2014-12-31

[9]

一种半导体制程废气燃烧处理系统 [P].

白晓锌 ;

彭认清 ;

蔡项勉 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN119393774A ,2025-02-07

[10]

一种半导体制程废气的燃烧处理设备 [P].

郭志锋 .

中国专利 :CN112107944A ,2020-12-22

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