半导体生产设备尾气处理系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821876803.3

申请日：

2018-11-14

公开(公告)号：

CN209213884U

公开(公告)日：

2019-08-06

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

F23G706

IPC分类号：

F23G550

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

袁礼君;阚梓瑄

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体生产设备尾气处理系统和方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111189054A ,2020-05-22

[2]

冷阱装置、尾气处理系统及半导体生产设备 [P].

特洛伊·乔纳森·贝克 ;

武泽成 ;

王颖慧 .

中国专利 :CN207694291U ,2018-08-07

[3]

冷阱装置、尾气处理系统及半导体生产设备 [P].

特洛伊·乔纳森·贝克 ;

武泽成 ;

王颖慧 .

中国专利 :CN207694292U ,2018-08-07

[4]

一种半导体生产设备进气处理系统 [P].

张蓬成 .

中国专利 :CN218011621U ,2022-12-13

[5]

半导体制程尾气处理系统 [P].

林仲炫 ;

金相辉 ;

申东珍 .

中国专利 :CN217961899U ,2022-12-06

[6]

半导体批处理生产设备及半导体批处理系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109637946A ,2019-04-16

[7]

一种尾气处理装置及半导体生产设备 [P].

王凯 .

中国专利 :CN220696271U ,2024-04-02

[8]

尾气处理设备及尾气处理系统 [P].

杨涛 ;

杨志军 ;

王道元 ;

梁永雄 ;

李士军 ;

吴冠雄 ;

李景民 ;

岑水玉 ;

陈成 ;

欧阳书山 ;

邱荣兵 ;

余少谦 .

中国专利 :CN112892157A ,2021-06-04

[9]

半导体废气处理设备 [P].

林仲炫 ;

金相辉 ;

申东珍 .

中国专利 :CN217527007U ,2022-10-04

[10]

尾气处理设备、尾气处理方法及尾气处理系统 [P].

李磊 ;

周兴宝 ;

丁志强 ;

包振兴 ;

陈奕峰 .

中国专利 :CN119425955A ,2025-02-14

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