一种半导体生产设备进气处理系统

被引：0

申请号：

CN202221786054.1

申请日：

2022-07-12

公开(公告)号：

CN218011621U

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

张蓬成

申请人：

申请人地址：

201600 上海市松江区车墩镇泖亭路1132号2幢2层

IPC主分类号：

B01D4600

IPC分类号：

B01D4642 B01D500

代理机构：

上海索源知识产权代理有限公司 31431

代理人：

李燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-13	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体生产设备尾气处理系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209213884U ,2019-08-06

[2]

半导体生产设备尾气处理系统和方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111189054A ,2020-05-22

[3]

一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶 [P].

张蓬成 .

中国专利 :CN218011939U ,2022-12-13

[4]

冷阱装置、尾气处理系统及半导体生产设备 [P].

特洛伊·乔纳森·贝克 ;

武泽成 ;

王颖慧 .

中国专利 :CN207694292U ,2018-08-07

[5]

冷阱装置、尾气处理系统及半导体生产设备 [P].

特洛伊·乔纳森·贝克 ;

武泽成 ;

王颖慧 .

中国专利 :CN207694291U ,2018-08-07

[6]

用于半导体处理系统的进气控制方法和半导体处理系统 [P].

王传道 ;

韩萍 ;

张文文 .

中国专利 :CN119710641A ,2025-03-28

[7]

半导体批处理生产设备及半导体批处理系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109637946A ,2019-04-16

[8]

一种进气管路及半导体生产设备 [P].

施党超 ;

周超 ;

李宝男 ;

刘长明 ;

于琨 .

中国专利 :CN218182175U ,2022-12-30

[9]

一种半导体生产加工中废气处理系统 [P].

邵新龙 .

中国专利 :CN211659604U ,2020-10-13

[10]

半导体废气处理设备 [P].

林仲炫 ;

金相辉 ;

申东珍 .

中国专利 :CN217527007U ,2022-10-04

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