半导体废气处理设备

被引：0

申请号：

CN202221473350.6

申请日：

2022-06-13

公开(公告)号：

CN217527007U

公开(公告)日：

2022-10-04

发明(设计)人：

林仲炫金相辉申东珍

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区锡贤路78号5号楼东

IPC主分类号：

B01D5378

IPC分类号：

B01D5060

代理机构：

江苏智天知识产权代理有限公司 32550

代理人：

陈俊凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-10-04	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体废气处理设备 [P].

张昱翀 ;

石天宇 .

中国专利 :CN221015344U ,2024-05-28

[2]

半导体废气处理设备 [P].

章文军 ;

杨春水 ;

宁腾飞 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

张坤 ;

闫萧 ;

蔡传涛 ;

席涛涛 ;

王磊 .

中国专利 :CN305575641S ,2020-01-24

[3]

半导体制程废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08

[4]

半导体废气处理设备及其燃烧腔温控方法、存储介质 [P].

陈力钧 ;

侯书凯 .

中国专利 :CN118031230A ,2024-05-14

[5]

一种餐厨垃圾废气处理设备 [P].

李国 .

中国专利 :CN205832885U ,2016-12-28

[6]

用于半导体废气处理设备的反应腔和半导体废气处理设备 [P].

宁腾飞 .

中国专利 :CN116510476B ,2025-08-29

[7]

一种半导体废气处理设备新型涡旋气体冷却腔体 [P].

崔汉博 ;

崔汉宽 .

中国专利 :CN216604719U ,2022-05-27

[8]

一种泛半导体废气除湿装置及废气处理设备 [P].

宁腾飞 .

中国专利 :CN216572367U ,2022-05-24

[9]

半导体废气处理装置和半导体废气处理方法 [P].

张昱翀 ;

李轩 ;

程玉雪 .

中国专利 :CN117358025A ,2024-01-09

[10]

半导体废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

李轩 .

中国专利 :CN115518501A ,2022-12-27

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