半导体废气处理设备

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201930236819.1

申请日：

2019-05-16

公开(公告)号：

CN305575641S

公开(公告)日：

2020-01-24

发明(设计)人：

章文军杨春水宁腾飞陈彦岗杨春涛王继飞张坤闫萧蔡传涛席涛涛王磊

申请人：

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室

IPC主分类号：

1599

IPC分类号：

代理机构：

芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138

代理人：

郑直

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体废气处理设备 [P].

林仲炫 ;

金相辉 ;

申东珍 .

中国专利 :CN217527007U ,2022-10-04

[2]

半导体废气处理设备 [P].

张昱翀 ;

石天宇 .

中国专利 :CN221015344U ,2024-05-28

[3]

用于半导体废气处理设备的反应腔和半导体废气处理设备 [P].

宁腾飞 .

中国专利 :CN116510476B ,2025-08-29

[4]

半导体废气处理装置和半导体废气处理方法 [P].

张昱翀 ;

李轩 ;

程玉雪 .

中国专利 :CN117358025A ,2024-01-09

[5]

半导体废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

李轩 .

中国专利 :CN115518501A ,2022-12-27

[6]

半导体制程废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08

[7]

半导体废气处理装置 [P].

潘政宇 ;

潘兴良 ;

蒋平 ;

胥志伟 .

中国专利 :CN120444637A ,2025-08-08

[8]

半导体废气处理装置 [P].

潘政宇 ;

潘兴良 ;

蒋平 ;

胥志伟 .

中国专利 :CN120444637B ,2025-09-19

[9]

等离子废气处理组件及半导体废气处理设备 [P].

李阳 .

中国专利 :CN220878314U ,2024-05-03

[10]

半导体废气的处理设备 [P].

李建霖 .

中国专利 :CN204034529U ,2014-12-24

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