半导体废气处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322731978.2

申请日：

2023-10-11

公开(公告)号：

CN221015344U

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

张昱翀石天宇

申请人：

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座

IPC主分类号：

B01D53/78

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

郭金梅

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

李轩 .

中国专利 :CN115518501A ,2022-12-27

[2]

半导体废气处理装置和半导体废气处理方法 [P].

张昱翀 ;

李轩 ;

程玉雪 .

中国专利 :CN117358025A ,2024-01-09

[3]

半导体废气处理设备 [P].

林仲炫 ;

金相辉 ;

申东珍 .

中国专利 :CN217527007U ,2022-10-04

[4]

半导体废气处理装置 [P].

潘政宇 ;

潘兴良 ;

蒋平 ;

胥志伟 .

中国专利 :CN120444637A ,2025-08-08

[5]

半导体废气处理装置 [P].

潘政宇 ;

潘兴良 ;

蒋平 ;

胥志伟 .

中国专利 :CN120444637B ,2025-09-19

[6]

半导体废气处理设备 [P].

章文军 ;

杨春水 ;

宁腾飞 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

张坤 ;

闫萧 ;

蔡传涛 ;

席涛涛 ;

王磊 .

中国专利 :CN305575641S ,2020-01-24

[7]

废气处理装置及半导体设备 [P].

苗华林 ;

许国青 ;

徐胜 ;

文凌罡 .

中国专利 :CN206040604U ,2017-03-22

[8]

半导体制程废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

杨春水 ;

章文军 ;

张坤 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

席涛涛 ;

何磊 ;

闫潇 .

中国专利 :CN112915718B ,2021-06-08

[9]

半导体废气处理装置及半导体制程系统 [P].

王继飞 ;

李阳 ;

石天宇 .

中国专利 :CN119042643A ,2024-11-29

[10]

用于半导体废气处理设备的反应腔和半导体废气处理设备 [P].

宁腾飞 .

中国专利 :CN116510476B ,2025-08-29

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