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一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶
被引：0
申请号：
CN202221787473.7
申请日：
2022-07-12
公开(公告)号：
CN218011939U
公开(公告)日：
2022-12-13
发明(设计)人：
张蓬成
申请人：
申请人地址：
201600 上海市松江区车墩镇泖亭路1132号2幢2层
IPC主分类号：
B01D5304
IPC分类号：
F23G707
代理机构：
上海索源知识产权代理有限公司 31431
代理人：
李燕
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-13 | 授权 | 授权 |