一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶

被引：0

申请号：

CN202222092109.5

申请日：

2022-08-09

公开(公告)号：

CN218458934U

公开(公告)日：

2023-02-10

发明(设计)人：

张蓬成

申请人：

申请人地址：

201600 上海市松江区车墩镇泖亭路1132号2幢2层

IPC主分类号：

B01D4610

IPC分类号：

B01D5374

代理机构：

上海索源知识产权代理有限公司 31431

代理人：

李燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶 [P].

崔汉博 .

中国专利 :CN212369786U ,2021-01-19

[2]

一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶 [P].

崔汉博 .

中国专利 :CN111420488A ,2020-07-17

[3]

一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶 [P].

张蓬成 .

中国专利 :CN218011939U ,2022-12-13

[4]

一种半导体尾气处理滤桶 [P].

张蓬成 .

中国专利 :CN218358096U ,2023-01-24

[5]

一种半导体湿法制程设备尾气处理装置 [P].

黄莉 .

中国专利 :CN121222172A ,2025-12-30

[6]

一种双桶式吸附式尾气处理设备 [P].

吴帆 ;

汤显 .

中国专利 :CN223668926U ,2025-12-16

[7]

半导体尾气处理设备气体缓冲器 [P].

赵小瑜 .

中国专利 :CN121206314A ,2025-12-26

[8]

一种半导体尾气热处理吸附设备 [P].

崔汉博 ;

崔汉宽 .

中国专利 :CN213160099U ,2021-05-11

[9]

一种半导体尾气双冷桶处理吸附设备 [P].

崔汉博 ;

崔汉宽 .

中国专利 :CN213160098U ,2021-05-11

[10]

一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧反应腔结构 [P].

王光玉 ;

陶显贵 ;

孔祥玲 ;

许明 ;

秦柏林 ;

李利争 ;

姚俊杰 ;

施赛杰 ;

刘江 .

中国专利 :CN120488281A ,2025-08-15

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