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一种半导体尾气双冷桶处理吸附设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021515685.0
申请日：
2020-07-28
公开(公告)号：
CN213160098U
公开(公告)日：
2021-05-11
发明(设计)人：
崔汉博
崔汉宽
申请人：
申请人地址：
312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇银洲路16号1号车间106室
IPC主分类号：
B01D5304
IPC分类号：
B01D4600
代理机构：
绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙) 33274
代理人：
桑杨
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-11 | 授权 | 授权 |